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有必要对真空镀膜电源设备的部件表面进行清洁，因为如果受到外界环境的影响，真空系统将无法正常使用，无法达到高真空度。
此外，在杂质存在的情况下，真空元件的连接和密封都会受到影响。
污染物杂质对于真空来说是完全无用的物质，多弧离子镀膜机根据杂质的状态将其分为固体杂质、气体杂质和液体杂质，它们以颗粒的形式存在。从化学的角度来看，它既可以是离子的，也可以是共价的，既可以是有机的，也可以是无机的。
暴露在外的外表面较容易被污染，而且污染的种类很多，通常是一开始自身操作形成的。
应注意表面吸附、化学反应、清洗和干燥过程，以及各种操作过程中机械污渍和表面污染物增加的可能性。
前期开始注意机器的保养和清洗，可以减少后期的很多麻烦，防止溅射镀膜机各种小问题的发生，提高工作效率，对真空镀膜机的镀膜质量起到非常重要的作用。
它可以较大限度地提高真空系统壁和其他机器配件在不同情况下的稳定性。
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